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氦質(zhì)譜檢漏儀,EBARA真空泵,普發(fā)檢漏儀,普發(fā)真空泵,inficon,壓力控制器

產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品名稱: 金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: MKS
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簡單介紹

新一代多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 實時高精度流量控制是基于先進的數(shù)字算法技術(shù),提供精度為設(shè)定值的正負1%,相應速度快于500毫秒,不同氣體及量程間自由切換的優(yōu)異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字(RS-485,DeviceNet,Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器。精度為設(shè)定值的正負1%,相應速度快于1秒,不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數(shù)字(Profibus,DeviceNet)通訊接口可選。

金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器的詳細介紹
  • P4B多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從10sccm-50slm.
  • P9B多氣體/多量程/壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從10sccm-50slm。
  • P250A多氣體/多量程數(shù)字大流量質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從100-250slm。
  • P2A低壓質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從2-50sccm。
  • P5A集成壓力傳感器的多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從10sccm-50slm。




  • ALTA 1490A/180A數(shù)字質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器,滿量程范圍i額從10sccm-30slm。
  • ALTA MC20A數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從20-200slm。



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