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MKS系列產(chǎn)品
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MKS電源
產(chǎn)品圖片
產(chǎn)品名稱/型號
產(chǎn)品簡單介紹
MKS電源-直流/脈沖功率電源
ENI直流/脈沖電源主要應用于半導體,光電器件,磁盤,平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。
MKS電源-射頻功率電源
ENI提供高可靠性的固態(tài)電源,其頻率從2MHz到60MHz,功率從3百瓦到13千瓦,還可選自動頻率跳鞋,廣泛應用于Etch,CVD和PVD等工藝。
MKS電源-等離子體電源
ASTeX 遠程等離子體電源適用于氧氣,氮氣,氫氣,水汽等氣體,廣泛應用于CVD,ETCH,去膠等晶圓工藝。
產(chǎn)品目錄
真空設備研發(fā)制造
各類真空系統(tǒng)
各類CVD /PVD設備
普發(fā)真空系列產(chǎn)品
普發(fā)真空泵
普發(fā)檢漏儀
MKS系列產(chǎn)品
MKS質(zhì)量流量計
MKS電源
MKS其他產(chǎn)品
inficon系列產(chǎn)品
EBARA真空泵(EBARA Vacuum Pump)
Ebara真空泵
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